main_product_2生产石英器件、光学薄膜、电子设备等的全真空设备及组件 ：真空蒸发设备/溅射设备/镀液设备/原子层沉积设备/干法蚀刻、灰化设备/真空冶金设备（溶解、热处理、烧结、脱气）/薄膜光学监视器（多色、单色）/IAD冷阴极离子源/液晶注射设备等