微波等离子清洗机ASTRO PACTO-100
price
欧元100,000 - 欧元150,000
brand_name_zn
ASTRO PLASMA
c_r_2
新加坡
spec
ASTRO PACTO-100
send_card
send_custom_request

enter_contrast

download_product

ASTRO PLASMA
country:
新加坡
main_product_2
微波等离子去胶机,微波等离子清洗机
more_short

微波等离子清洗机ASTRO PACTO-100



price
欧元100,000 - 欧元150,000
brand_name_zn
ASTRO PLASMA
c_r_2
新加坡
spec
ASTRO PACTO-100

send_card


ASTRO PLASMA 

country: 新加坡
main_product_2
微波等离子去胶机,微波等离子清洗机
product_info
brand_info
company_info
产品参数
参数名称 | 数值范围 | 说明(选填) |
腔体尺寸 | 100L | D500mm * W450mm * H450mm |
等离子源 | 2.45Ghz/1200W | 功率50~1200W连续可调 |
气体管路 | 2路 | 可选配至4路 |
本底真空 | 10Pa | 标配进口干泵,可选配油泵 |
电子回旋框架 | 支持 | 支持多料盒均匀清洗 |
旋转台 | 支持 |
产品描述
本设备用于半导体制造中晶圆及基板等材料清洗。适合大批量自动化生产。带有ECR框架和旋转台,支持多料盒同时批处理。本设备为先进微波等离子化学清洗,其主要工作原理为腔体一定真空状态下导入适宜的工艺气体,在微波能量下,气体被离子化,其活性自由基与被清洗表面物质(一般为有机物)发生反应,生成挥发性气体被真空泵排走,从而达到清洗效果。
store_all_product
温控探针台

条干仪

微波等离子去胶机ASTRO PACTO - 10H


recommended
换一批

温控探针台

条干仪

微波等离子去胶机ASTRO PACTO - 10H

高压雾化喷胶系统

焦平面探测器电光学参数测试平台