C.DIFF是centrotherm提供的一款享有盛誉的多用途扩散系统，可在高效太阳能电池制程中形成可靠的发射极。该低压系统可应用于P型和N型品体硅太阳能电池的生产。

得益于其宽泛的工艺窗口和灵活的工艺控制性能，即使在方阻为200/sq的情况下，C.DIFF仍可提供优质、可靠的均匀发射极。管式生产系统的独特优势在于其在不同生产负荷和工艺步骤中的高度灵活性，即当其中一根炉管进行维修、关闭或工艺优化时，其他炉管仍可继续工作。

根据特定的生产要求，centrotherm可提供定制化配置，如在工艺压力、产能及自动化水平等方面。

除具有高度灵活性和多功能处理能力的5管C.DIFF LP外，近期推出的C.DIFF X可以大大提高产能。10根炉管配置，可处理硅片的边长达210mmDc.DIFFX是为了更好的服务于各大P型高效太阳能电池制造商而开发的高产能设备。

系统描述

· 全自动石英舟操作系统,使炉管的利用率最大化

· 5根独立运行的、堆叠的石英炉管(可选碳化硅)

· 与生产能力相匹配的配置(炉管数量、背靠背装载方式自动化级别等)

· 得益于占地面积小和热载能耗低，其具有最低的生产运行成本

· 易于集成在MES或生产控制系统中

· 可兼容所有常规自动化解决方案

客户收益

· 优质的双面扩散工艺(高效的吸杂效果提升了材料质量)

· 先进的水冷却系统可防止不同炉管间的热干扰

· 独立运行的炉管可实现生产冗余,使设备利用率更高

· 极高的清洁度(气相扩散没有残余)

选配项

· 碳化硅(SiC)工艺舟

· 连接至POCl3供应系统

低压扩散的优势

高效太阳能电池生产工艺

· 优异的扩散均匀性

· 极高的方块电阻(300Q/sq)

· 新一代用于先进太阳能电池概念的扩散工艺，如：Topcon钝化接触

· 快速改变的气体气氛可以建立新的扩散条件,进而更

· 好的调整发射极的掺杂曲线

极低的运营成本

· 相同产能 下通过减少设备数量使占地空间最小

· 极低的物料和动力消耗(POCl3节省达50%)