Pi111 紧凑型硬质涂层系统

基本信息
紧凑型硬质涂层系统
基于PLATIT LARC”技术(侧向旋转阴极技术)
工具钢(TS)上沉积温度高于230°C,
高速钢(HSS)上的涂层温度350 - 500°c
硬质合金(WC)上的涂层温度350 - 550 °c

硬质涂层
·单层，多层，纳米梯度，纳米多层，纳米复合结构以及这些结构的组合
·主要的标准涂层:
AITiN2-多层, nACo2R, nACRo2, AlCrN3·可实现部分TripleCoatings3

硬件
·设备外观尺寸:W1890 x D1500 x H2120 mm·真空腔室内部尺寸:
W450 x D320(460)x H615 mm
·最大可涂工件尺寸:O355 x H500 mm·可用的离化区域: O355x H460 mm·最大转车载荷: 100 Kg
·真空系统配有涡轮分子泵
·革命性的柱状旋转阴极系统配有2支LARC":.LARCR靶材尺寸:o96 x 510 mm
·磁控线圈控制(MACC)靶面ARC弧斑运动·双层水冷不锈钢腔室和阴极
·熟练操作者换靶时间:
大约为15分钟/阴极
. VIRTUAL SHUTTER虚拟挡板和TUBE SHUTTERR柱状挡板技术
- LGDR: LARC"辉放电·等离子体刻蚀:
·气体离子刻蚀(Ar/H,);辉光放电·金属离子刻蚀(Ti, Cr)
·Pulsed BIAS 脉冲偏压供给(350kHz)·在电控柜配有空调
·5(+1)气体通道,5支MFC控制
·配有灰尘过滤器的特殊加热器(10 kW)·电力连接:
3x 400V,100A外用保险丝50-60Hz, 30kVA·腔室预热
·可更换的门内衬
·低频脉冲电弧 ARC电源- LARC+阴极