411超级 灵活沉积系统

中心旋转阴极的概念
旋转阴极具有多种配置选项和灵活性，能够开发出高性能的定制专用涂层。因此，该涂层设备针对的客户群体是寻求将最大的灵活性和宽范围的涂层技术整合在同一台机器上灵活切换的设备。

因其模块化的设计以及可实现的技术范围，Pi411 PLUS是世界上最具灵活性的涂层设备。其基本配置为在门内安装三个旋转阴极的ARC电弧单元，可以在现场做模块化升级使用电弧或溅射中心阴极，也可以进行PECVD和OXI的工艺升级。本单元的独特之处还在于LACS混镀技术,该技术允许同时使用电弧和溅射工艺过程来沉积涂层。

运用到的技术:
ECO:基本配置为门上安装3支LARCB(侧向旋转电弧阴极),用于沉积涂层
PECVD (DLC2):用于a-C:H:Si涂层
TURBO: ECO + CERC⑧(中心旋转阴极)使用电弧技术，以提高生产率和实现最复杂的涂层
OXI:用于白刚玉结构的氧化涂层
SCIL⑧(侧向辉光放电引发的溅射涂层):来自中心阴极的高性能溅射涂层，如ta-C涂层
混镀LACS⑧:同时进行电弧和溅谢过程，使用门上的LARC⑧和中心的SCIL⑧阴极