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等离子清洗机
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面议
品牌名称：
昭和真空
国家地区：
日本
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昭和真空
国别：
日本
主营产品：
生产石英器件、光学薄膜、电子设备等的全真空设备及组件
：真空蒸发设备/溅射设备/镀液设备/原子层沉积设备/干法蚀刻、灰化设备/真空冶金设备（溶解、热处理、烧结、脱气）/薄膜光学监视器（多色、单色）/IAD冷阴极离子源/液晶注射设备等
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等离子清洗机
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品牌名称：
昭和真空
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日本
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昭和真空
国别： 日本
主营产品：
生产石英器件、光学薄膜、电子设备等的全真空设备及组件
：真空蒸发设备/溅射设备/镀液设备/原子层沉积设备/干法蚀刻、灰化设备/真空冶金设备（溶解、热处理、烧结、脱气）/薄膜光学监视器（多色、单色）/IAD冷阴极离子源/液晶注射设备等
产品信息
品牌信息
公司信息
产品参数
| 参数名称 | 数值范围 | 说明（选填） |
| 基板处理数 | 2枚 | （φ4、φ6） |
| 对应基板 | Si、LT晶圆 | |
| 灰化分布 | ±10%以内 | |
| 排气时间 | 18s | 到达10Pa |
| 排气系统 | 干泵 | |
| 搭载量 | 2盒 | （25枚/盒） |
| 参考周期 | 45s |
产品描述
等离子清洗机SPE-2136A
低温处理、清除浮渣·表面改质·灰化处理
概要
对应基板 4、D6英寸晶片
灰化分布 ±10%以内
排气时间 18秒以内到达10Pa
可选购项 Ar等离子清洗除静电器
用途,应用例
1.各种晶片电子零件的去胶
2.后工序电镀前的表面改质
3.除去有机污染
4.树脂材料的表面改质
5.对应声表等极薄压电晶片
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