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等离子增强化学气相沉积
价格：
美元500,000 - 美元1,000,000
品牌名称：
牛津仪器
国家地区：
英国
型号：
PP100
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牛津仪器
国别：
英国
主营产品：
纳米表征设备、纳米加工方案、相关工业配件等
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等离子增强化学气相沉积
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美元500,000 - 美元1,000,000
品牌名称：
牛津仪器
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英国
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国别： 英国
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纳米表征设备、纳米加工方案、相关工业配件等
产品信息
品牌信息
公司信息
商品详情
产品参数
| 参数名称 | 数值范围 |
| 可沉积材料 | SiO2,Si3N4 and SiON |
| 沉积温度 | 5ºC to 400ºC |
| 衬底大小 | 6inch及以下/200mm及以下 |
| 多种源选择 | TEOS, TMA, TMB, TMP等 |
产品描述
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