ALOX湿氧氧化设备

VCSEL湿氧氧化设备

VCSEL湿氧氧化市场优异的一步到位解决方案

全制程实时监控以及自动取放片

通过一个能够优化控制每个关键参数的工具，大大增加你的产量。

降低资本支出和运营成本，提高产量，而不影响均匀性、运行或孔径形状。

ALOX Gen 1.4, AET 产品优点：

高均匀性：6寸片的标准偏差值小于0.45u
优异的均匀性：(6寸片的标准偏差值小于0.05u
实时在线监控功能：自动“在正确的氧化直径上停止”，以在过程中进行视觉监控。
优秀的量产能力：自动晶圆装载和SECS/GEM连接
全面的可靠度控制：简便易用的退火能力，对温度、压力和湿度进行全过程控制

生产车间照片：

应用领域：