NFA-1007 series 提供半导体厂无尘室 VOCs 智能监测之解决方案

半导体晶圆厂自 2010 年进入 28 奈米后至今，微污染对晶圆良率 (Yield) 的影响随着 IC 线宽缩小而放大，为了协助客户把关这些无形的晶圆杀手，金兆益早在 2009 年就已开发出第一代 VOCs 监测设备，时至今日经过我们不断修正改良与优化 NFA-1007 series 已是半导体制程上不可或缺的VOCs 监测设备。

我们的优势：

★高效 VOCs 采集浓缩技术

★解析近 200 种 VOCs，且可扩增与回溯

★可靠的分析技术，同时优化分析时间

★智能软硬件程控技术

★ NF 混合标准气体 

NF 智能软硬件技术可做到哪些事情？

欲成为顶尖的在线监测设备，除了有专业分析人员的技术能力与稳定手法外，还需要有判断突发状况的机制，因此金兆益开发先进模块搭配智能程控软件，可达成： 

自我检核机制 (Auto BK & QC)

自动调机 (Auto Tune)

数值超标锁点回馈机制 (协助问题查找)

金兆益选用电子撞击游离法气相层析质谱仪 (GC-EI-MS) 作为检测器？

唯有 GC-EI-MS 的仪器原理能同时满足常态监测 与 协助问题查找 的能力。

VOCs 监测设备基本功能是监测客户已知有危害的 VOCs 项目，然而无尘室中存在各种对晶圆有危害的潜在风险未必是客户原本所认知的，例如：冷冻装置中的抗冻成分 Perfluorotributylamine (CNF) 是在偶然发现时才被纳入管理。

与现行实验室使用技术相同

实验室方法绝大多数是 GC-EI-MS，因此金兆益设备与实验室方法具有相同水平，您不需担心数据该如何比对。

在市面上有很多测定 VOCs 的仪器技术，例如：化学游离法的 PTR-TOF 与 IMS-MS、光学式GC-PID 等，但都非实验室主流技术。