半导体晶圆厂自 2010 年进入 28 奈米后至今，微污染对晶圆良率 (Yield) 的影响随着 IC 线宽的缩小而放大，为了协助客户把关这些无形的晶圆杀手，金兆益开发出一系列的 AMC 监测设备。我们也将低侦测极限的分析方法转移至在线监测设备。

 我们的优势：

★ MA (酸) 与 MB (碱) 同时监测

★可获得各项酸碱的正确浓度

★智能软硬件程控技术

★可靠的分析技术，同时优化分析时间

★ NF 离子层析标准品 

为何要了解 MAMB 各项的正确浓度？

了解 MAMB 各项浓度的用意在于限缩污染来源的位置，例如：发现硝酸根离子(NO3-)超标时，先检查含硝酸根的化学品、气体管路是否漏气等。

以实际酸碱浓度控管微污染早已是领先半导体厂既定的监测模式。

NF智能软硬件技术可做到哪些事情？

欲成为顶尖的在线监测设备，除了有专业分析人员的技术能力与稳定手法外，还需要有判断突发状况的机制，因此金兆益开发先进模块搭配智能程控软件，可达成： 

自动检量线配置

自动移动相配置

自我检核机制 (Auto BK & QC)

数值超标锁点回馈机制 (协助问题查找)