非接触测量
• 晶圆厚度和TTV–1或3个测量轨道
• 晶片电阻率
• 晶圆P或N导电类型（可选）

用于过程控制和质量保证的高速在线光伏晶片测量模块
MicroSense PV-6060是一款高精度计量模块，可为光伏晶片厚度、晶片总厚度变化（TTV）和晶片电阻率的测量提供无与伦比的吞吐量和稳定性。所有测量都是与实时模拟输出完全非接触的，以实现高吞吐量而不会损坏晶圆。PV-6060专为简单集成到自动化晶圆运输中而设计，旨在供制造在线光伏晶圆检查和分拣系统的原始设备制造商使用。

用于精密厚度和TTV测量的非接触电容式传感器
通过对每个测量轨道使用一对电容传感器来实现精确的厚度测量。对于每个轨道，一个传感器位于晶片上方，另一个传感器在晶片下方；这些信号被组合为厚度的A+B测量。小型所使用的5mm测量点提供了高分辨率的厚度测量和非常接近晶片边缘的测量能力。

用于高灵敏度电阻率测量的非接触式涡流传感器
高灵敏度涡流传感器，一个在晶片中心线上方，一个位于晶片中心线下方，测量晶片电导。电导数据与相应的厚度数据相结合，提供晶片电阻率。还提供了温度数据，用于将电阻率测量结果归一化为行业标准参考温度。

好处
• 先进的高稳定性、低噪声电容式传感器设计，可实现亚微米分辨率和非常可重复的厚度测量
• 非接触式电容传感器提供真正的晶圆表面测量——晶圆表面光洁度对厚度测量精度没有影响
• 直径为5mm的传感器用于厚度测量，提供高空间分辨率和靠近晶片边缘的测量
• 模块化设计——为原始设备制造商提供灵活的配置，旨在与现有晶圆运输和输送机轻松集成到系统中

MicroSense开创性的电容式传感器高分辨率测量
我们的电容式传感器业务成立于1967年，最初是ADE公司的一部分。ADE成长为全球领先的裸半导体晶圆测量工具供应商。用于位置和位移测量的高分辨率电容式传感器（也称为“电容计”）成为“ADE”和我们的商标名称“MicroSense”的代名词。
作为一家独立公司，MicroSense继续在新传感器开发方面进行重大投资，尤其是在光伏市场。对于OEM客户，MicroSense为您的工程团队提供深入的技术支持和应用帮助。