TOF-SIMS是一种非常灵敏的表面分析技术，适用于许多工业和研究应用。该技术通过对一次离子東轰击样品表面产生的二次离子进行质量分析，并行探测所有元素和化合物，具有极高的传输率(可达到100%)，只需要一次轰击就可以得到研究点的完整质量谱图，从而提供有关样品表面、薄层、界面的详细元素和分子信息，并能提供全面的三维分析。其用途广泛，包括半导体，聚合物，涂料，涂层，玻璃，纸张，金属，陶瓷，生物材料，药品和有机组织领域。

功能和技术细节
M6是IONTOF开发的最新一代高端TOF-SIMS仪器。其设计保证了SIMS应用所有领域的卓越性能。开创性的离子束和质量分析器技术使M6成为SIMS仪器的基准和工业及学术研究的理想工具。
1.纳米探针50具有高横向分辨率（50纳米）
2.质量分辨率30000
3.独特的延迟提取模式，可同时实现高横向和高质量分辨率的高传输
4.无与伦比的动态范围和检测极限
5.用于分子结构解析的飞行时间质谱/质谱
6.灵活的按钮式闭环样品加热和冷却系统，无需用户干预即可长期运行
7.复杂的SurfaceLab 7软件，包括完全集成的多元统计分析（MVSA）软件包