装备展示厅，Diener，Diener 等离子蚀刻机 ZEPTO RIE，电子、仪器

Diener 等离子蚀刻机 ZEPTO RIE

价格：

面议

品牌名称：

Diener

国家地区：

德国

型号：

ZEPTO RIE

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Diener

国别：

德国

主营产品：

等离子清洗机

Diener 等离子蚀刻机 ZEPTO RIE

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Diener

国家地区：

德国

型号：

ZEPTO RIE

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Diener

国别：德国

主营产品：

等离子清洗机

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商品详情

Diener 等离子蚀刻机

ZEPTO RIE特点：

·适用6寸以下样品的处理

·用于塑胶材料表面的处理

·配置自动/手动模式，实现控制高机能

·桌上型，省空间

·适合于研究院、高校、研发中心使用

用途：

·表面清洗活化

·表面蚀刻

Diener 等离子蚀刻机

ZEPTO RIE特点规格

型号	ZEPTO RIE	Zepto RIE PCCE
控制方式	按键操作控制	Windows CE 7”触摸屏操作控制
操作方式	手动	手动/自动
程序存储	—	5组
工艺过程监控	—	二维折线图与数字实时显示
报错功能	—	显示详细的报错信息
工艺气路	双路	单路，双路
工艺气体	O2，Ar，N2，CO2，H2
流量计	针阀流量计	MFC流量计
泄气气路	一路
真空计	指针式/0-10mbar	数字式/0-9.99mbar
计时器	0-100s 0-1000s(出厂默认) 0-1000s	0~999.9H
真空腔体	不锈钢圆形腔体盖子门带观察窗尺寸Φ190mm x H60mm 容积1.7L
电极	不锈钢气浴RIE电极， Φ160mm
发生器	40kHz 0~100W，13.56MHz 0 ~50 W，13.56MHz 0 ~300 W
外形尺寸（WxDxH）	425 x 450 x 310mm
电源	AC 230 V / 16 A
真空泵	排气速度不小于4m3/H, 极限真空度小于10Pa

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