液相法 SiC 单晶炉
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价格:
人民币120万元~150万元
品牌名称:
粤升半导体
国家地区:
中国
型号:
YS-C08S01
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粤升半导体
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国别:
中国
主营产品:
碳化硅外延设备、碳化硅晶体生长设备
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液相法 SiC 单晶炉
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价格:
人民币120万元~150万元
品牌名称:
粤升半导体
国家地区:
中国
型号:
YS-C08S01
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国别: 中国
主营产品:
碳化硅外延设备、碳化硅晶体生长设备
产品信息
品牌信息
公司信息
商品详情
设备名称:液相法 SiC 单晶炉
设备型号:YS-C08S01
设备尺寸:L1300×W1300×H3600mm
适用工艺:LPE 法 (兼容 PVT 法)
长晶尺寸:6 吋兼容 8 吋
主炉腔体:不锈钢
籽晶/坩埚升降行程:200mm
籽晶/坩埚旋转速度范围:0.1-200rpm
可加热温度范围:800℃~2800℃
设备特点:
1、高真空度,高品质泵体、密封设计,各部件严密结合,保障长晶环境;
2、高精密性,高品质电控系统、传动系统、零部件,保障设备精密性和运行稳定性;
3、自主开发,具有自主知识产权,生产制造不受制约,供货稳定,可接受定制。
4、已通过国内知名 SiC 衬底公司验证,并可兼容 8 英吋晶锭
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微波等离子去胶机ASTRO PACTO - 10H
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高压雾化喷胶系统
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冷热台
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