LiteScope™是一种独特的扫描探针显微镜（SPM）。它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。

使用LiteScope™及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。

LiteScope™的设计还使其可以与其他SEM配件结合使用聚焦离子束（FIB）或气体注入系统

（GIS）用于制造纳米/微结构和表面改性。在这种组合中，LiteScope™可对制造的结构进行快速简便的3D检测。

此外，LiteScope™开辟了一个全新的测量技术领域，可实现相关显微镜，即所谓的相关探针和电子显微镜（CPEM）。CPEM技术是市场上首创的技术。它可以在同一个地方进行SPM和SEM测量，同时，使用相同的协调系统。只有CPEM技术才能为您带来SPM和SEM技术相关成像的全部优势。

特点：

• LiteScope™可提高性能的SEM升级
• 可作为现有显微镜的插件或作为新的SEM使用
• 独特的相关探针和电子显微镜（CPEM）技术
• 复杂的表面表征

-形貌，粗糙度，磁性，导电性，电性能

• 自感应探头，无需光学检测，无需激光调整
• LiteScope™易于安装到SEM的样品台上/从样品台中取出
• 兼容FIB，GIS，EDX等配件
• 在倾斜位置（角度0°-60°），最小工作距离5毫米
• 可伸缩的测量头可释放样品周围的空间
• 市售探针，种类繁多测量模式
• 快速简便地更换探头和样本
• 用户友好的软件，在网络浏览器中操作，轻松远程访问
• LiteScope™也可作为独立的SPM使用

技术规格

LiteScope™是一款完全可操作的SPM，可让用户获得详细信息

纳米尺度样品的特征。

它可以用作独立的显微镜

或与电子束结合，这是它的最大优点。

LiteScope™通常在高真空下操作，但可根据要求适用于超高真空。

LiteScope™连接到SEM / FIB显微镜的样品台，从而可以根据用户的喜好进行操作。

LiteScope™能够测量在倾斜位置，例如用于与FIB技术同时使用。 在这种情况下，用户将会欣赏对接选项，从而可以将整个SPM探针缩回并隐藏在LiteScope™的主体中。

设计亮点

• 薄型和小尺寸可集成在SEM / FIB仪器中

• 易于集成的程序 - 安装在SEM / FIB操纵器上

• 通用探头支架适用于多种SPM方法和简单的“即插即用”组装

• 样品倾斜高达60°

• 优化的机械设计，具有极低的振动水平（刚性和适当的共振频率），集成前置放大器（尽可能消除信号失真/噪声）

LiteScope™数据

总重量：1公斤

真空工作范围:105Pa至10-5Pa

扫描范围X，Y，Z:100 μm × 100 μm × 100 μm

最大样本量:10毫米×10毫米

最大样本高度:8毫米

解析度:高达0.4纳米