HMDS预处理系统的优点： 

预处理性能更好：由于HMDS处理是在经过数次的氮气置进行的，因此不会受到尘埃的干扰，再者，该系统还将"去水烘烤"和HMDS处理结合在同一流程和容器中。晶片在容器中经过 100℃-200℃ 的脱水烘烤后再进行 HMDS 处理，无需暴露在大气中，减少了芯片吸收水分分子的机会，所以有着更好的处理效果等；

 处理更加均匀：由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以液态涂布不可比拟更好的均匀性  

效率高：液态涂布是单片操作，而本系统一次可以处理多达4盒的晶片； 

更加节省药液：实践证明，液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多 

更加环保和安全：HMDS是有毒化学药品，人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整个过程是在密闭的环境下完成的，所以不会有人接触到药液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机，所以也不会对环境造成污染。