FLY-MX12显微镜光学技术在亮度 、对比度和可操作性方面达到z新高度， 适合晶圆或者显示面板的高级检查

FLY-MX12(落射照明型)

z大样品尺寸：  ø300mm晶片

载物台行程：350 × 300mm

放大倍率：50X - 1000X

(依目镜和物镜而定)

高对比度，几乎无杂光

为z大程度地减少杂光现象,物镜涂有特殊涂层,其表面具有抗杂散光的性能。另外,目镜筒内部的反射次数 也减少了,进一步减小了出现杂光的可能性，同时获得了前所未有的高对比度。

半复消色差物镜

富莱半复消色差物镜实现了自然色彩高度再现，高透过率镜片和先进的镀膜技术保证获得高清晰图像

半复消色差物镜

富莱半复消色差物镜实现了自然色彩高度再现，高透过率镜片和先进的镀膜技术保证获得高清晰图像

调节手轮集中在机身前部

主要调节手轮和按钮均位于底座前部， 在观察样品的同时可进行快速、 方便的操作，长时间观察能z大程度地减轻疲劳。

防静电能力更强

机身、载物台、目镜筒和各调节手轮均涂有消静电涂层，提高了抗污染能力，防止样品因静电感应而受损，从而提高成品率。

诺玛斯基DIC观察法（选配）

采用单棱镜(Senarmont)系统，只 需在物镜转换器插入一个诺玛斯基棱镜，  即可以 任一倍率进行DIC观察。即使进行低倍率观察， DIC图像也同样清晰而鲜明，  几乎没有色阴影。 高对比度型DIC滑块能以更高的灵敏度形成DIC 图像。

X-Y微调操作手轮

X-Y微调操作手轮的固定位置*，  位于接近操作员之处，  这一特 性使操作员不必伸长手臂移动载物台。样品移动和对焦可由单 手在桌面上的完成，使操作员得以将注意力集中在样品观察上。

明场观察

无限远光学技术产生高亮度、高对比度的图像。

暗场观察

新开发的暗场照明光学技术极大地提高了图像亮 度，增强了检测样品的微小划痕和形态的能力。

技术规格