概述

X系列是一款集成了电学、光波、微波等测试功能的半自动探针台，专业应对6寸/8寸/12寸Wafer (向下兼容）Si，GaN，SiC等各类材质的先进芯片的性能测试。可对晶圆、MEMS、生物结构、光电器件以及其他集成电路、LED、LCD、太阳能电池等进行7*24全天候在片探测，并可加载温控系统，满足客户于高低温环境下的各种性能测试要求。

产品亮点

运行速度可达70mm/s，测试效率提升40%以上

-60℃~300℃宽泛测试温宽区

先进的多倍率光学显示系统，高精度测量与动态监控，点针更便捷操作

7*24小时全天候在片探测

自主研发软件集成系统，兼容性更强