产品亮点
工艺单元叠层排布

 PSB内共6层PSRT

每个PSRT负责一层工艺单元内的晶圆传递

每一层最多可配置4个SPIN类工艺单元
12个CP&HP类工艺单元
根据不同用户需求，SPIN类单元可配置成涂布与显影单元，CP&HP类单元可配置成烘烤单元、底部增粘单元以及WEE等。SPIN类工艺单元(旋涂和显影)最多可配置24套，CP&HP类单元最多可配置72套

自研核心部件
高温陶瓷加热盘，多分区加热实现最佳的温度均匀性控制；二级精密计量泵，实现光阻的精确定量。