空中走形式无人搬送车(Overhead Hoist Transport)，负责洁净车间内不同制程设备之间物料的自动化搬运，涵盖国内外6~12英寸的半导体晶圆生产工厂，适用于OHT-FOUP、SMIF Pods等。 

1.自主研发单驱动多层取料**技术，空间小、精度高；

2. 物料抓取防晃动设计，准确定位并抓取物料，稳定性高；

3. CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高； BCR实时确认Shuttle位置信息，实现与CIM的实时通信；

4. 采用安全触边传感器，缓冲器，镭射传感器等防护措施，调整穿梭速度，防止碰撞；