消息
6"~12英寸 晶圆存储
价格：
面议
品牌名称：
华易泰
国家地区：
中国
发送名片
发起定制请求
加入对比
华易泰
国别：
中国
主营产品：
湿式设备、自动物料搬送系统设备、高纯介质供应系统设备
查看更多
1/2
6"~12英寸 晶圆存储
价格：
面议
品牌名称：
华易泰
国家地区：
中国
发送名片
华易泰
国别： 中国
主营产品：
湿式设备、自动物料搬送系统设备、高纯介质供应系统设备
产品信息
品牌信息
公司信息
商品详情
Stocker主要用于洁净车间内晶圆的临时存储，可以缩短一工艺设备流程结束后到下一工艺设备流程开始之间的时间差，涵盖国内外6~12英寸的半导体晶圆生产工厂，适用于OHT-FOUP、SMIF Pods等。
- Arm采用双驱动+非动力传动方式，空间小、精度高;
- BCR实时确认Shuttle位置信息，实现与CIM的实时通信;
- 自动Teaching机构，自动调整并保存设备位置信息，效率高、移栽精度高;
- 自带润滑膜的滚轮-齿条结构，负载能力强、精度高、可靠性高、洁净度高;
店铺所有产品
全自动外包装出库线
智能搬运AGV（单/双举升AGV）
空中走行式无人搬送车 OHT
猜你喜欢
换 一 批
全自动外包装出库线
智能搬运AGV（单/双举升AGV）
空中走行式无人搬送车 OHT
智能仓储堆垛机立库系统
工艺设备自动上/下料机
