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技术参数：
参数名称 | 参数值 |
磨削晶圆直径(mm) | 最大300 |
磨削晶圆厚度(mm) | 最大50 |
减薄机形式 | 单轴单工位旋转工作台 |
操作方式 | 半自动磨削方式（人工上下料） |
磨削方式 | 晶圆旋转、轴向切入式进给磨削(in-Feed) |
磨削主轴功率(kW) | 15 |
磨削主轴转速(rpm) | 100～3000 |
Z轴有效行程(mm) | 100（具有原点机能） |
主轴进给电动机功率(kW) | 0.75 |
Z轴磨削进给速率(μm/s) | 0.1～80 |
Z轴快进速度(mm/s) | 10 |
Z轴最小运动分辨率(μm) | 0.1 |
金刚石砂轮直径(mm) | 300 |
夹持工作台类型 | 多孔陶瓷吸盘 |
承片主轴转速(rpm) | 0～300 |
吸盘清洗方式 | 人工清洗 |
真空极限压力(KPa) | -90 |
TTV(μm) | 4寸7片≤5um，单片8寸晶圆≤5um |
片间厚度变化(μm) | ≤±3um |
表面粗糙度Ra(μm) | 0.015(金刚石砂轮粒度#2000) |
设备总功率（kW） | 17 |
设备总重量（kg） | 约2350 |
外形尺寸（LxWxH mm） | 1010*1210*2070mm |
设备优势：
◎ 本机器采用晶圆自旋转研磨法的原理为:如图a 采用略大于晶圆的工件转台，工件通过真空吸盘夹持在工件转台的中心，磨轮边缘调整到工件的中心位置，工件和砂轮绕各自的轴线回转，进行切入减薄。砂轮与工件的接触长度、接触面积、切入角不变，研磨力恒定，加工状态稳定，可以避免工件出现中凸和塌边现象。尤其对较薄的工件表现较为明显。
◎ 研磨主轴均采用气浮轴承结构，定子、转子之间由于没有机械轴承的摩擦力，磨损程度降到了最低，从而确保精度始终保持稳定。
◎ 气浮轴承阻力较低，允许较高的速度，并能同时保持较低的振动水平。
◎ 气浮主轴精确的、可重复的运动，使得表面光度达到了非常出色的程度。由于硬度是由贯穿轴承的、始终如一的空气流提供的，转子所经受的、来自外负载的作用力，在其旋转时稳定的分布在所有点上。这一特性与磨削时产生良好的表面光度息息相关。
