1.烘烤制程设备:电热鼓风干燥箱、精密鼓风烤箱/充氮鼓风烘箱、水冷无氧烤箱/ 水冷精密烤箱、无尘烤箱/洁净烘箱、全自动化烤箱、超高真空烤箱/高真空烤箱 、全自动真空除气炉； 2.半导体设备：HMDS预处理系统/HMDS涂胶机，高温无氧烤箱/防氧化固化炉 /高温无氧固化炉/高温厌氧固化炉、全自动立式炉（工艺PIQ、退货、合金）、 真空高温无氧烤箱/真空防氧化固化炉/真空高温无氧固化炉/真空高温厌氧固化 炉、全自动真空立式烤箱； 3.环境及可靠性试验设备:可程式恒温恒湿试验箱、高温试验箱、冷热冲击试验箱、可程式高低温试验箱； 4.热处理设备：干燥网带炉、回流焊炉（全热风炉/贴片焊接炉）、气氛控制网 带炉（气氛烧结炉/气氛熔封炉/厚膜烧结网带炉）、石墨盘专用真空烤盘炉； 5.存储设备:防潮柜/氮气柜、电脑式无尘氮气柜。