单面CMP抛光机

价格:
面议
品牌名称:
梦启半导体
国家地区:
中国
型号:
DL-855/4P-CMP
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
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
梦启半导体

国别:
中国
主营产品:
全自动高精密晶圆减薄机、高精密抛光机、全自动高精密倒角机等硬脆材料的加工装备、以及高精度气浮主轴部件系列产品的研发、生产和销售。
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
单面CMP抛光机



价格:
面议
品牌名称:
梦启半导体
国家地区:
中国
型号:
DL-855/4P-CMP

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

梦启半导体 

国别: 中国
主营产品:
全自动高精密晶圆减薄机、高精密抛光机、全自动高精密倒角机等硬脆材料的加工装备、以及高精度气浮主轴部件系列产品的研发、生产和销售。
产品信息
品牌信息
公司信息
商品详情
技术参数:
参数名称 | 参数值 |
抛光头摆动范围 | ±5mm |
抛光头转速 | 0~70rpm |
抛光盘规格 | 910mm |
抛光盘转速 | 0~80rpm |
抛光液流速 | 15L/min |
工件盘尺寸 | 360mm |
单工位压力 | 20~300KG |
工件盘转速 | 0-70rpm |
主电机功率/电压 | 11KW/380V |
加工尺寸 | 2~8寸 |
设备工位数 | 4个 |
抛光机形式 | 立式转盘抛光 |
操作方式 | 半自动(人工上下料) |
表面粗糙度Ra(nm) | 5nm |
设备总功率 | 12KW |
设备总重量 | 约3000KG |
外形尺寸(LxWxH ) | 1200x1650x2250mm |
设备优势:
◎ 本设备为单面精密抛光设备,采用先进的机械结构和多种先进控制方法,抛光加工效率高,运行稳定。
◎ 整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统运行稳定性高。
◎ 主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机降低设备运行冲击,减少工件损伤。
◎ 工件抛光压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性。
◎ 上压盘采用主动驱动方式,在确保产品撤光速率的前提下保证各工位抛光加工的统一性。
◎ 抛光盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证抛光液发挥最大效率的同时减少抛光盘面的变形。
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
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
冷热台


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
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
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