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半自动上蜡机
价格：
面议
品牌名称：
梦启半导体
国家地区：
中国
型号：
DL-SL360A
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梦启半导体
国别：
中国
主营产品：
全自动高精密晶圆减薄机、高精密抛光机、全自动高精密倒角机等硬脆材料的加工装备、以及高精度气浮主轴部件系列产品的研发、生产和销售。
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半自动上蜡机
价格：
面议
品牌名称：
梦启半导体
国家地区：
中国
型号：
DL-SL360A
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梦启半导体
国别： 中国
主营产品：
全自动高精密晶圆减薄机、高精密抛光机、全自动高精密倒角机等硬脆材料的加工装备、以及高精度气浮主轴部件系列产品的研发、生产和销售。
产品信息
品牌信息
公司信息
商品详情
技术参数：
参数名称 | 参数值 |
适用晶圆尺寸 | 4-inch / 6-inch |
吸盘手行程 | 450 |
吸盘手轴数3轴 | 单轴 |
吸盘手重复定位精度 | ±0.05mm |
吸盘手真空压力范围 | -70~-90kPa |
陶瓷盘尺寸 | Φ360×15mm |
固态蜡更换频率（片/根） | 350 |
喷蜡装置温控范围 | 40℃~130℃ |
喷蜡装置工作温度 | 100℃ |
喷蜡精度 | ±0.02g |
喷蜡重复定位精度 | ±0.05mm |
加热盘升温时间 | 3min |
加热盘冷温时间 | 3min |
加热盘温控范围 | 60℃~130℃ |
加热盘温控精度 | ±0.5℃ |
加压气缸 | 100~1000Kg @ 0.6Mpa±1%F.S |
上蜡厚度 | TTV ≤5μm |
总气源 | 0.4-0.7mpa（干燥无油） |
整机控制系统 | PLC |
设备总功率（kW） | 约7 |
设备总重量（kg） | 约1000 kg |
设备尺寸（LxWxH mm） | 1550x1550x1900（不含三色指示灯高度) |
设备优势：
◎ 采用固态蜡熔蜡方式，精确、定量滴蜡。
◎ 加热冷却盘内部采用精密加热和自动冷却系统，可精确控制盘面温度。
◎ 采用独立气缸压片方式，精密气压控制，可精准控制蜡厚。
◎ 贴片后的TTV≤5um。
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