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单面精密晶圆铜抛机

价格：

面议

品牌名称：

梦启半导体

国家地区：

中国

型号：

DL-ST855/4L

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梦启半导体

国别：

中国

主营产品：

全自动高精密晶圆减薄机、高精密抛光机、全自动高精密倒角机等硬脆材料的加工装备、以及高精度气浮主轴部件系列产品的研发、生产和销售。

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梦启半导体

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中国

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国别：中国

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全自动高精密晶圆减薄机、高精密抛光机、全自动高精密倒角机等硬脆材料的加工装备、以及高精度气浮主轴部件系列产品的研发、生产和销售。

产品信息

品牌信息

公司信息

商品详情

技术参数：

参数名称	参数值
磨盘规格(mm)	85525512
陶瓷盘直径(mm)	360
主电机功率	11KW/380V
压盘电机功率	0.2KW/380V（4个）
修整电机功率	0.2KW/380V
抛光盘最高转速	100rpm(max)
设备工位数	4个
操作方式	半自动（人工上下料）
定时范围	0-999分钟
最大设定压力	300kgf（单头）
最小设定压力	20kgf（单头）
气源	0.4-0.6mpa（干燥无油）
真空极限压力(KPa)	-90
冷水水压	2kgf/cm2 以下
水流量	15l/min
室内温度	15℃-25℃
相对湿度	≦80%
TTV(μm)	4寸7片陶瓷盘作业后≤5um
表面粗糙度Ra(nm)	20nm
设备总功率（kW）	12 kw
设备总重量（kg）	约3500
外型尺寸形尺寸（LxWxH mm）	1200x2150x2250
主盘温度感应器	±5℃
产能	≥1320（pcs/day）

设备优势：

◎ 本设备为单面精密研磨设备，采用先进的机械结构和多种先进控制方法。研磨加工效率高，运行稳定。

◎ 整机采用PLC+触摸屏控制系统，设备参数设置和操作简单方便，系统运行稳定性高。

◎ 主电机采用变频调速控制，实现主机软启动、软停机，降低设备运行冲击，减少工件损伤。

◎ 工件研磨压力采用气缸加压方式，通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制，保证极高的施压精度与稳定性。

◎ 上压盘采用主动驱动方式，在确保产品研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。

◎ 研磨盘冷却水冷却功能，在保证研磨液发挥最大效率的同时减少研磨盘面的变形。

◎ 设备自带盘面修整机，盘面修整后可保证0.01mm的盘面平整度。

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