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Mini Line 微型器件平台
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面议
品牌名称：
矽碁科技
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中国台湾
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矽碁科技
国别：
中国台湾
主营产品：
磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发、ALD、PEALD、RIE、PECVD 和 LPCVD
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Mini Line 微型器件平台
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品牌名称：
矽碁科技
国家地区：
中国台湾
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国别： 中国台湾
主营产品：
磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发、ALD、PEALD、RIE、PECVD 和 LPCVD
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商品详情
为克服器件制造的设备空间限制，矽碁科技开发出适合2英寸晶圆的小型半导体制造平台-Mini Line，配置灵活，占地面积小，运行成本低。适用于科研和企业用户教学和小批量器件制造。
优势：
1. 设备成本低；
2. 运行能耗低；
3. 占地面积小；
4. 制造效率高；
5. 配置方式灵活；
可集成设备清单：
1. 多靶枪磁控溅射
2. 电子束蒸发
3. 热蒸发
4. PECVD
5. RIE
6. PEALD
7. ALE
8. Annealing
9. Plasma treatment
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