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泓浒自研真空洁净机器人
价格：
面议
品牌名称：
泓浒半导体
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中国
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泓浒半导体
国别：
中国
主营产品：
设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
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设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
产品信息
品牌信息
公司信息
商品详情
R（径向）轴：
量程：1010mm
重复性：±0.05mm
T（旋转）轴：
范围：无限旋转
重复定位精度：±0.003°
Z（垂直）轴：
50mm、100mm、150mm
重复定位精度：±0.05mm
低泄漏率：<1*10^(-9) std.cc/sec-He
高真空度：<5*10^(-8)Torr
洁净等级：ISO 1级
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