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泓浒自研大气洁净机器人
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品牌名称：
泓浒半导体
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中国
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泓浒半导体
国别：
中国
主营产品：
设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
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设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
产品信息
品牌信息
公司信息
商品详情
•单臂/双臂结构，可带翻转，根据需求选择
•插补算法支持VIA（拐点），支持多个FOUP
•全轴AC伺服电机，23bits绝对值编码器
•S曲线加减速运动控制技术，实现高速，高精度搬运
•通用晶圆固定方式：真空吸附式，边缘夹持式
•洁净等级：ISO 1级
•手指材质：碳纤维,铝合金，高纯度陶瓷等多种可选
•根据晶圆材质特性，设计提供最优的加持方案
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