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设备前端模块/晶圆分选机
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品牌名称：
泓浒半导体
国家地区：
中国
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泓浒半导体
国别：
中国
主营产品：
设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
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设备前端模块(EFEM)、品圆倒片机(Sorter)、真空传输模块(VTM)等
产品信息
品牌信息
公司信息
商品详情
EFEM：
- 提供兼容100/150/200/300mm多规格晶圆传送方案；
- 提供定制化解决方案：包括机架、承载台、洁净机器人、晶圆夹持方式、净化为环境等；
- 提供特殊工艺制程传送解决方案，包括耐高温、耐腐蚀等；
- 支持多种通信协议；
- 支持定制化通信接口；
- 满足超洁净度：洁净等级class 1；
- 高稳定性
Sorter:
- 提供兼容100/150/200/300mm多规格晶圆分选方案；
- 提供定制化晶圆分选及传送解决方案：包括晶圆读码器、反转结构和化学过滤器，布局方案（2-10个装载端口）等；
- 高速度 320片/时,含晶圆读码功能；1,100片/时，不含晶圆读码功能；
- 高稳定性 关键部件MCBF 15,000,000次；
- 超洁净 洁净等级:ISO class1，PWP指标:0.05@0.037um；
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