大面积钙钛矿电池研发实验用的立式磁控溅射镀膜机，用于钙钛矿电池各膜层的制备；
传输层采用射频溅射氧化镍&ITO，射频溅射氧化锡SnOx，透明导电层采用直流溅射ITO、金属电极采用直流溅射金属铜；
立式磁控溅射设备用途广泛，工艺成熟稳定，运行平稳，设备操作维护简单方便，助力于大面积钙钛矿从实验室走向产业化。