消息
涂胶显影设备ZHT-200
价格：
面议
品牌名称：
众鸿
国家地区：
中国
型号：
ZHT-200
发送名片
发起定制请求
加入对比
众鸿
国别：
中国
主营产品：
涂胶显影设备，单片清洗设备，立式炉管，RTP
查看更多
1/1
涂胶显影设备ZHT-200
价格：
面议
品牌名称：
众鸿
国家地区：
中国
型号：
ZHT-200
发送名片
众鸿
国别： 中国
主营产品：
涂胶显影设备，单片清洗设备，立式炉管，RTP
产品信息
品牌信息
公司信息
商品详情
ZHT-200是众鸿自主开发的全自动涂胶显影设备，通过涂胶跟显影单元可将芯片制程中需要的图形在基底材料上显现出来。
- 适用晶圆尺寸：8&6inch（可兼容）
- 设备尺寸: 2820*2000*2665mm
- 翘曲度：±1mm
- 应用领域： 硅基半导体,化合物半导体(GaAs、GaN、SiC、滤波器),MEMS,先进封装等。
- 产品优势：
- 支持Inline光刻机Canon，Nikon，ASML对接，支持KrF工艺
- 可根据客户需求进行设备配置
- 150mm/200mm两种产品兼容
- 支持复合板，支持循环水控温冷板
- 支持工艺参数数字化收集
- 支持TRMS,EAP自动化挂系统
- 支持SECS通信和AMHS系统
- 有SVID输出,支持FDC
- 技术参数：
- 转速范围：0-6000rpm
- 加速度范围：0-50000rpm/sec
- 热盘温度范围：50-200℃
- 冷盘温度范围：20-30℃
- 适用光刻胶：Max：20000CP
- 胶泵类型：Cylinder/Motor Type pump
- 光刻胶或显影液管路：PFA
店铺所有产品
微波等离子去胶机ASTRO PACTO - 10H
高压雾化喷胶系统
冷热台
猜你喜欢
换 一 批
微波等离子去胶机ASTRO PACTO - 10H
高压雾化喷胶系统
冷热台
瑞士TEXTEST 透气性分析仪FX 3300-IV
焦平面探测器电光学参数测试平台
