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快速退火炉 RTP ZHR-200
价格：
面议
品牌名称：
众鸿
国家地区：
中国
型号：
ZHR-200
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众鸿
国别：
中国
主营产品：
涂胶显影设备，单片清洗设备，立式炉管，RTP
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快速退火炉 RTP ZHR-200
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品牌名称：
众鸿
国家地区：
中国
型号：
ZHR-200
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国别： 中国
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涂胶显影设备，单片清洗设备，立式炉管，RTP
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商品详情
快速热处理（RTP）设备是一种单片热处理设备，可以将晶圆的温度快速升至工艺所需温度（200°C-1300℃），并且能够快速降温，升/降温度速率微20°C - 250℃。
- 适用晶圆尺寸：8&6inch
- 设备尺寸：1200 x 1730 x 2045mm
- 应用领域：集成电路、功率半导体、 化合物半导体（GaAs、GaN、SiC、滤波器）。
- 产品优势：
- 占地面积2.76m²，空间利用率高，单位面积晶圆产量高
- 温度范围 400~1300℃
- 通过SEMI S2**，包括特殊气体选项
- 支持SECS/GEM通信协议，可快速、简便、高效的维护
- 每年可生产1万片晶圆，适用于Fab生产，也可满足大学、研究实验室和小批量生产的要求
- 高可靠性，使用成本低
- 标配高温计和热电偶温度测量，快速的数字PID温度控制器可在整个温度范围内提供准确和可重复的热控制
- 工艺腔的独特管式设计便于清洁
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