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桌面式反应离子刻蚀系统
价格：
面议
品牌名称：
中科聚微
国家地区：
中国
型号：
RIE-150PD
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中科聚微
国别：
中国
主营产品：
半导体设备
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中科聚微
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RIE-150PD
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产品信息
品牌信息
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商品详情
机台特点
■整机尺寸：L600mm×D510mm×H460mm
■6寸向下兼容
■工艺菜单化，支持一键运行
■带角度人机界面，ELO电容屏
■模块化布局，便于升级扩展和维护
■工艺稳定性好
■带蜂鸣提示功能
■高精度控温样品台
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